解决稳定半导体制造的复杂任务的压力测量

20多年来,SETRA的高压测定解决方案一直帮助解决了半导体行业的各种关键工作。让我们稳定可靠的设备带给您安心。

对于负载压力管理和控制(以及带有激光干涉仪等设备),我们的压力传感器的稳定性和可靠性使它们对半导体制造的应用很有价值。可以在整个GDS系统中找到它们,从散装气体的分布和特种气体到工艺工具,在该工具中,在该工具中进行了semicr量的半导体集成电路的制造。无论是对原位过程的压力测量,清除气体输送系统还是泄漏检测,我们都有具有无与伦比的准确性和可靠性的工具。

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