型号225


超高纯度压力传感器


产品概述

Setra的225型非常适合高纯度气体输送系统半导体工艺,以及需要超清洁操作、高通量性能和特殊长期稳定性的控制应用。

设计为0.11 in3的低空腔体积,几乎消除粒子捕获,GCT-225可以很容易地清洗。所有潮湿的部分是316L VIM/VAR不锈钢钝化到5 Ra (7 Ra。最大)光洁度,消除了表面不规则性,并提供适当的表面化学物质,以耐腐蚀,确保无污染的气体分布。每个传感器是质谱仪氦泄漏测试到1 × 10-9 ATMCC/秒。

型号225系列带有一个可旋转的盖子,便于访问12转电位器的零点和跨度调整。标准的旋转凸面或凸面密封压力接头满足半导体行业的要求。此外,其他几种配件风格可供选择。

225如果提供5 VDC, 10 VDC或4-20mA输出。6英尺多导体电缆或卡口连接器提供电气终端。Setra的专利可变电容传感器采用VIM/VAR 316L不锈钢膜片和绝缘极板。在传感体和极板之间形成可变电容器。压力的增加会引起膜片轻微的圆角,从而降低电容。电容变化被检测和转换成一个高度精确的线性直流电信号。Setra独特的定制集成电路,利用专利的电荷平衡原理,几乎不受EMI/RFI的影响。


支持65年通知警告:这种产品会让你接触到包括铅在内的化学物质,加州政府已经知道铅会导致癌症、出生缺陷或其他生殖损害(更多信息请访问www.p65warnings.ca.gov

注意:铅封装在产品内部的传感器玻璃中。

产品规格

  • 优越的稳定性避免停机
  • EMI/RFI免疫防止误关机
  • 坚固的设计使安装无故障